表面粗度儀/ alpha-step
Alpha step 是以探針接觸樣品表面進行一維的掃描,以得到一維表面輪廓的資訊。
一、儀器設備說明
1.儀器購置年月:2021年10月
2.加入貴儀年月:2022年1月
3.儀器經費來源:貴儀中心與學校配合款
4.廠牌及型號:KLA/Alpha-Step D-300
5.重要規格:
(1)探針: 2μm 60deg / 5μm 60deg
(2)探針掃描速度:0.01mm/s~0.1mm/s
(3)樣品載台:直徑14cm手動載台,可360度轉動
(4)樣品最大厚度: 2cm
(4)最大掃描高度:50μm
(5)最大掃描長度:30mm
二、服務項目
1. 可由階差得知鍍膜膜厚或深度等訊息
2. 一維表面粗糙度 (Surface roughness)
三、取樣應注意事項:
試件直徑最大不超過14cm,最大高度2cm
服務方式:
自行操作:本設備以提供使用者自行操作為主,使用者先完成儀器訓
練課程後,方可自行操作。
代工服務:收到樣品後,再由管理者安排代工量測。
訓練課程規定:請至http://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw 報名貴儀組訓練課程。
四、收費辦法及標準 | |||
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五、聯絡方式 | |||
姓名 | 電話 | 電子郵件 | |
技術員 | 鄭宇軒 先生 | 06-2757575 轉 31357 | z10809028@ncku.edu.tw |
樣品寄送 | 地址:701401 臺南市東區大學路1號 自強校區儀器設備大樓2樓203室 收件人:鄭宇軒 先生 | ||
六、儀器放置地點 | |||
國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓203室 | |||
七、申請表格及注意事項 | |||
校外委託送件者若不方便親自送件,可利用郵寄將試片送達。請附上回郵信封及寫上收件地址與收件人。 |