隨著科技發展的日新月異，電子顯微鏡已成為探討微觀世界之重要材料分析儀器。本儀器型號為日本Hitachi SU8600冷場發射式掃描電子顯微鏡，在極高的真空環境(~10^-10torr)下工作，可以得到高品質清晰影像的分辨率及解析度，(1k:0.7nm,15kV:0.6nm)。

本儀器配置能量分散式光譜儀(廠牌及型號為Bruker RT100)，為無窗設計的EDS偵測器，對輕元素定量分析有極佳的靈敏度及準確度，在6mm的工作距離就可以分析樣品，提供各種樣品的分析服務。

附加STEM功能，可以同時同地觀測SEM+STEM-BF+STEM-DF影像，並配備電漿清潔裝置與離子研磨機，可清除樣品表面雜質並讓樣品表面平整化。

本儀器提供超高解析度影像、微區化學組成分析、STEM樣品觀察解析，以及試片前處理儀器等優點，適用於材料、半導體、光電、太陽能電池、奈米材料、機械、物理、冶金等領域，應用層級非常廣泛。符合數位化、電腦化、自動化的操作，對學術發展與尖端研究有非常大的助益。

1. 儀器設備說明

50. 廠牌及型號：Hitachi SU8600
50. 購置日期：2024年12月
50. 運作日期：2025年1月
50. 儀器規格：
    1. 二次電子解析：0.6nm(15kV) 、0.7nm(1kV)
    2. 放大倍率：20~2000k
    3. 加速電壓：0.5~30Kv
    4. EDS(廠牌-德國Bruker)偵測範圍：原子序B以上
50. 解析度：129eV

2. 服務項目
   50. 影像觀察及照相：

SEI(Secondary Electron Image):奈米材料、金屬、陶瓷、薄膜、高分子等材料之顯微影像表面形貌觀察，附有距離測量功能。

2. 50. BEI(Backscattered Electron Image)：含有LA-BSE(low-angle BSE)、HA-BSE(high-angle BSE)兩種模式，可進行輕重元素鑑別分析
   50. 能量分散式光譜儀：微區顯微結構之定性、半定量及元素分布分析(Mapping & Line-Scanning)。
   50. STEM:可以同時同地觀測SEM+STEM-BF+STEM-DF影像。
3. 樣品注意事項
   50. 試片直徑最大不超過8mm，最高高度不超過8mm。預約者自行做樣品尺寸前處理(本設備樣品載台直徑約50mm)。

50. 若樣品數量較多，請務必縮減試片尺寸以利量測效率。
50. 若為非導體，可以作少量鍍金前處理及樣品接地等作業。
50. 試片須乾燥不可含水分，強磁性、揮發性、毒性、腐蝕性。
50. 本儀器為保證真空腔體乾淨無污染，拒絕受理低熔點之高分子、生物、粉末、磁性物質試片。
50. 如對樣品是否可以進入拍攝有任何疑問，請務必先與技術員討論。
50. 第一次預約請先與技術員討論樣品製備及實驗相關問題，使實驗能順利進行。

4. 收費辦法及標準:

國家科學及技術委員會-基礎研究核心設施預約服務管理系統為主，請上線查閱：

5. 聯絡方式

	姓名	電話	電子郵件
技術員	施慧蓉 小姐	06-2757575轉31376	z7306007@email.ncku.edu.tw
樣品寄送	701401台南市東區大學路1號 國立成功大學核心設施中心(貴儀組)  收件人：施慧蓉小姐

6. 儀器放置地點

國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓208室。

7. 申請表格與注意事項

50. 每月25日早上11:00開放下個月份使用時段(由國科會貴儀資訊管理系統預約)。
50. 已完成預約,若欲取消,請於使用日前二天上網取消,否則須計基本使用費。
50. 第一次欲使用本儀器請事先接洽儀器技術人員。
50. 如未經技術員通過自行操作認證合格，請預約委託操作。