高解析穿透電子顯微鏡／Ultrahigh Resolution Transmission Electron Microscope


HRAEM　　
　　電子顯微鏡是近代發明中，最引人入勝的儀器，它把人類的視野帶入原子級微結構當中，使人為之耳目一新。

　　電子顯微鏡主要用以瞭解材料內在的微細組織(包括結晶種類，大小，分佈等)與其外在性質的關係，使工程師可藉以設計出新的材料，應付新的需要。近代半導體的進步，高溫陶瓷，超合金，特殊高分子(塑膠)等的發明，莫不依賴電子顯微鏡的探索。例如，有一種稱為析出硬化的熱處理，它的產物有的只及二埃厚，一百埃長(一 埃為一公分的十億分之一)而許多時效熱處理所得的顆粒大小只有數百埃，它們的存在方式對材質有決定性的影響，電子顯微鏡正觀察，記錄它們的利器。

　　電子顯微鏡的分析，以 " 察秋毫 " 四字實不足以形容，因此它廣用於鑑定工作，如電子工廠微電路之管制，化學工廠乳劑之區分等都是它的看家本領。人體的毛髮，眼視之無甚區別，若以電子顯微鏡放大數千倍，則可見它上面的皺紋各有巧妙不同一如指紋，因人而異，所以電子顯微鏡也是刑事鑑定的利器。他如用於斷定機件損壞的原因﹝如飛機失事是否因為金屬疲勞？）作病理化驗、病毒判斷......等生物及醫學鑑定工作上，更是居功厥偉。

　　近兩年來，電子顯微鏡配上微電腦，更加如虎添翼，科學家已能拍攝原子的照片，並能分析數十項範圍之成分及原子價數，未來它的功用會更形擴展，為人類解決更多科學及工程難題。
一、儀器設備說明

本儀器JEOL JEM-2100F CS STEM球面像差修正型掃描穿透式電子顯微鏡於2009年12月裝機完成。

於2010年5月加入國科會成大貴儀中心運作服務。

本儀器配備有STEM球像差修正器、STEM檢測器、HAADF檢測器、EDS能量散佈分析儀、 EELS電子能量損失光譜分析儀、CCD數位影像系統、 PLASMA CLEANER高效能等離子清潔機
二、服務項目

1、一般TEM明、暗視野像，High Resolution Image高解析成像能力HRTEM mode可達0.1nm，STEM mode可達0.12nm。

2、高解析掃描穿透明、暗視野像(HR STEM BF and DF)。

3、nano-beam Diffraction微區繞射分析 > 1nm 。

4、CBED(Convergent Beam Electron Diffraction)收斂電子束繞射圓盤強度分佈，可分析獲得微觀結構三度空間資料。

5、EDS能量分散光譜儀可提供微區分析中化學元素的定性及半定量及化學元素mapping/linescan分析。

6、EELS電子能量損失光譜分析儀可提供微區分析中輕元素，化學鍵結等更正確的相關資料，Energy resolution可達1ev 。
三、取樣應注意事項

1、相同於傳統TEM樣品製做方式，樣品直徑3mm(不合規格樣品可使用銅網)，觀察區厚度0.1um以下。

2、本儀器限制高揮發性、分解性化學合成、未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品、磁性或易被電磁透鏡 吸引的粉末型式樣品或材料、低熔點會產生相變及蒸鍍效應、有機高分子等試片不能上機使用，而且待測 樣品應該具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況。

3、欲做高解析分析之試片需用等離子清潔機清潔過，以避免積碳效應阻斷觀察。

4、本儀器拒絕受理在電子束照射下會分解或釋出大量氣體污染之有機樣品、含有毒性、強磁性、低熔點等試片
四、收費辦法及標準
以國家科學及技術委員會-基礎研究核心設施預約服務管理系統為主，請上線查閱：儀器計費查詢。
五、預約注意事項

1、每個月28日中午12:30開放預約下個月份使用時段（由國家科學及技術委員會貴儀資訊管理系統預約）。

2、欲自行操作使用儀器者(限有執照)，請於預約前先與技術人員接洽。

3、已完成預約的使用者，請於使用當日前先行查詢儀器狀況。

4、已完成預約的使用者，若欲取消，請於使用當日的三天前上網取消，否則儀器使用費酌情計費。
六、本儀器之指導教授與技術員
技術員：　曾湜雯小姐　　　(06)2757575轉31366　　email：shihwen@mail.ncku.edu.tw
七、本儀器放置地點
JEOL-2100F CS STEM：成功大學自強校區儀設大樓B109室
八、申請表格
申請表格

[技術手冊]