化學分析電子光譜儀／Electron Spectroscopy for Chemical Analysis

儀器照片
化學分析電子光譜儀(ESCA)是一種分析材料表面組織形態及化學結構的儀器，可適用於電機、機械、電子、材料、化學、化工等研究領域。
ESCA的原理，簡單地說就是光電效應。當其有足夠能量的電磁波(X-Ray)照射在材料表面上，原子內的電子吸收了電磁波的能量，將可自原子內游離出來，稱為光電子。其動能為入射電磁波的能量，減去該電子在原子內的束縛能。不同元素的光電子，具有特定的動能，因而判定材料表面的元素成份。
一、儀器設備說明
  • 儀器裝機時間：2008年4月
  • 加入貴儀時間：2008年5月
  • ESCA Model：PHI 5000 VersaProbe
  • Electron Spectroscopy for Chemical Analysis
二、服務項目
  • 表面元素成份分析
  • Depth profile
三、取樣應注意事項：
  1. 由於ESCA是對試樣表面非常靈敏的儀器，因此，保持試片表面的原狀與潔淨，對分析結果的正確與否非常重要。
    例如手指接觸到試片表面，則可能會檢測出Cl、C、Na、O等外來的污染元素。
  2. 樣品規格：ESCA面積小於2cm*2cm，厚度小於5mm。
  3. 樣品不得具有磁性、毒性、輻射性。
  4. Depth profile以不超過1um為原則。 
四、收費辦法及標準
  • 以國科會-基礎研究核心設施預約服務管理系統為主，請上線查閱：儀器計費查詢。
五、聯絡方式
  姓名 電話 電子郵件
技術員 李瑞欽先生 06-2757575 轉 31411 z8011013@email.ncku.edu.tw
樣品寄送 地址：701401 臺南市東區大學路1號 國立成功大學 基礎研核心設施    收件人：李瑞欽先生
六、儀器放置地點
國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓211室

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