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一、儀器設備說明
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- 儀器購置年月：2020年10月
- 加入貴儀年月：2021年1月
- 儀器經費來源：貴儀中心與學校配合款
- 廠牌及型號：BRUKER/ContourGT-K
- 重要規格：
(1) 最大掃描範圍：達10mm
(2) 縱向解析度：< 0.1 nm
(3) PMS重複性（PSI）:0.03nm
(4) 台階高度準確性：< 0.75% (在8μm及以上的台階標準片上測得)
(5) 台階高度重複性：< 0.1% 1 sigma repeatability
(6) 最大掃描速度：47 μm/sec (標準CCD)
(7) 樣品反射率範圍：0.05%~100%
(8) 最大坡度-光滑面：達40º
(9) 最大坡度-粗糙面：達87º
(10) XY樣品載台：150 mm（6吋）手動載台
(11) 樣品載台荷重：10 lb（約4.5 kg）
(12) 縱向量測範圍：100 mm （4吋）
(13) 鏡頭傾斜：±6º手動載台傾斜
(14) 光學量測模組：雙LED照明（白光＆綠光），可搭配旋轉物鏡，可搭配縮放目鏡
(15) 物鏡選擇：2.5x, 5x, 10x, 50x
(16) 目鏡選擇：0.55x, 1x, 2x
(17) 標準彩色：640x480
(18) 操作軟體：Vision64 Analysis Software （搭配Win10作業系統）
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| 二、服務項目 |
- 2D/3D量測 (2D/3D measurement)
- 表面粗糙度 (Surface roughness)
- 曲面量測 (Curvature measurement)
- 膜厚/段差量測 (Thickness/Height)
- 尺度量測 (Dimension measurement)
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三、取樣應注意事項：
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- 服務方式：
自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓練課程後，方可自行操作。
代工服務：收到樣品後，再由管理者安排代工量測。
- 訓練課程規定：請先與管理者聯繫，安排儀器訓練課程。
- 樣品準備需知：
適用樣品型態（Sample type）：薄膜 (Thin film)、塊材 (Bluk)，試片尺寸及重量需符合設備規格（XY樣品載台150 mm、縱向量測範圍100 mm、載台荷重4.5 kg）。
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| 四、收費辦法及標準 |
- 以成功大學核心設施中心共儀服務預約系統為主，預約申請及計費查詢請至共儀預約系統
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| 五、聯絡方式 |
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姓名 |
電話 |
電子郵件 |
| 技術員 |
徐光毅 先生 |
06-2757575 轉 31399 |
z11008108@ncku.edu.tw |
| 樣品寄送 |
地址：701401 臺南市東區大學路1號 國立成功大學 基礎研究核心設施 收件人：徐光毅 先生 |
| 六、儀器放置地點 |
| 國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓203室 |
| 七、申請表格及注意事項 |
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校外委託送件者若不方便親自送件，可利用郵寄將試片送達。請附上回郵信封及寫上收件地址與收件人。
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