前瞻聚焦離子束系統

（Advanced Focused Ion Beam System ）

（FIB）

聚焦離子束系統(focus ion beam，FIB)是廿世紀新開發的指標性儀器之一，兼聚臨場橫截面與平面分析，定點TEM試片製作，微奈米圖案與元件製作等重要功能於一機。隨著電腦運算能力的加速和機械精密加工的進步，功能也一再加強。

　　優異之FIB試片製備技術，能定點切中微小區域，快速製備出滿足高解析度電子顯微鏡拍攝條件，及微區域成分分析的理想觀察試片，並搭配最新型的顯微鏡設備來觀察影像，提供完整之樣品檢測分析。

　　本中心的前瞻聚焦離子束系統為雙束型離子束，所謂雙束型是指具有電子束與離束。電子束即為掃描式電子顯微鏡，而離子束基本原理與SEM類似，僅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)與透鏡型式 (磁透鏡 vs. 靜電透鏡) 位置不同。液態金屬LMIS(Liquid Metal Ion Source)則是提供離子束Ga元素來源，如下圖所示左右兩金屬棒作為電壓輸入與加熱使用，用V字形的鎢(W)線連接及支撐；被支撐物上部為一型似彈簧之螺旋，此處為Ga存留的地方。下方為一針狀結構，最下方為放射尖端。

離子束是將Ga(鎵)元素離子化成Ga+，利用電場加速與靜電透鏡(electrostatic)聚焦，將高能量(高速)的Ga+利用物理碰撞來進行特定圖案的加工。

1. 超高解析定點縱剖面切割

2. 特殊圖形製作

3. 選擇性的Pt / C 表面蒸鍍

4. TEM試片製備

5. 元素成份分析

1. 試片大小：平面，面積 ≦ 直徑50 mm，高度 <30 mm。

2. 下列樣品，因容易對儀器造成損害，恕不受理：
   a. 真空中具揮發性或在電子束照射下易分解、釋出氣體分子之樣品。
   b. 有機物、高分子、粉末材料、磁性物質。
   c. 有礙真空維持或可能污染腔體之樣品。

3. 實驗期間委託人必須在場，方便操作者跟委託人溝通。

4. TEM試片製備一個時段僅接受一片。若使用in-situ lift out製備則必須預約2個時段。

5. 委託操作是指代為操作機台，無需負代工結果之責任。委託者確認代工單內容無誤後，除台故障外，不得要求退費。

6. 請自行準備光碟片。

以國科會-基礎研究核心設施預約服務管理系統為主，請上線查閱：儀器計費查詢。

地址：701401 臺南市東區大學路1號 國立成功大學 核心設施中心    收件人：王彥茹 小姐

1. 每月20日中午12點開放次月預約，當月25日前回傳預約申請單，若未回傳預約申請單，將於當月28日取消該預約時段，不另行通知。
2. 欲取消預約請在五天前，自行上網取消，當日實驗未到且未電話通知者，該時段仍扣款原預約時段費用。
3. 欲取消預約但已少於五天內(不含實驗當日)，無法自行取消者，請先電話連絡或寫信告知，該時段仍扣款一小時基本費。
4. 預約申請單繳交，請拍照或掃描傳送至技術人員信箱mei0421@mail.ncku.edu.tw

• 委託申請表
• 自行操作使用者申請表