表面粗度儀/ alpha-step

Alpha step 是以探針接觸樣品表面進行一維的掃描，以得到一維表面輪廓的資訊。

一、儀器設備說明

1.儀器購置年月：2021年10月

2.加入貴儀年月：2022年1月

3.儀器經費來源：貴儀中心與學校配合款

4.廠牌及型號：KLA/Alpha-Step D-300

5.重要規格：

(1)探針: 2μm 60deg / 5μm 60deg

(2)探針掃描速度:0.01mm/s~0.1mm/s

(3)樣品載台:直徑14cm手動載台，可360度轉動

(4)樣品最大厚度: 2cm

(4)最大掃描高度:50μm

(5)最大掃描長度:30mm

二、服務項目

1. 可由階差得知鍍膜膜厚或深度等訊息

2. 一維表面粗糙度 (Surface roughness)

三、取樣應注意事項：

    試件直徑最大不超過14cm，最大高度2cm

服務方式：

    自行操作：本設備以提供使用者自行操作為主，使用者先完成儀器訓

              練課程後，方可自行操作。

    代工服務：收到樣品後，再由管理者安排代工量測。

訓練課程規定：請至http://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw 報名貴儀組訓練課程。