高解析掃描式電子顯微鏡/High Resolution Scanning Electron Microscope
顯微電鏡是一種觀察表面微觀世界的全能分析顯微鏡,具有景深長及高解析的特點。本儀器為日本 Hitachi SU8000 場發射掃描式電子顯微鏡,利用加負壓於金屬尖端上,以強電場將電子吸出尖端而形成很微小的電子束,在極高的真空中操作(~10-10 torr)可得到高品質分辨率的影像(15KV;1nm解析度)。 本儀器並配置能量分散式光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer 簡稱 EDS)及 可作元素(Boron 以上)之定性及半定量分析,並提供了真空鍍膜設備服務,在107年12月時添購了電顯腔體電漿清潔裝置,對分解儀器腔體內部碳氫化合物和水氣有消除樣品被碳化污染的效果,提升照相解析能力。 本儀器提供高解析度影像、微區化學組成分析、多功能解析、試片製備容易等優點,適用於材料、半導體、光電、太陽能電池、奈米材料、 機械、物理、冶金等領域,其應用非常廣泛,並符合數位化、電腦化、自動化的操作,對於學術研究有非常大的發展空間。 |
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一、儀器設備說明
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二、服務項目 | |||
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三、取樣應注意事項:
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四、收費辦法及標準 | |||
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五、聯絡方式 | |||
姓名 | 電話 | 電子郵件 | |
技術員 | 施慧蓉小姐 | 06-2757575 轉 31376 | z7306007@email.ncku.edu.tw |
樣品寄送 | 地址:701401 臺南市東區大學路1號 國立成功大學 基礎研究核心設施 收件人:施慧蓉小姐 | ||
六、儀器放置地點 | |||
國立成功大學自強校區儀器設備大樓2樓208室 | |||
七、申請表格及注意事項 | |||
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